Манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин
Продукция производственно-технического назначения 2001 год | ||
Манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин | ||
Манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин обеспечивает: перекладку полупроводниковых пластин диаметром 150 мм; ориентацию пластин в транспортных кассетах по базовому срезу; количество перекладываемых пластин - 50 шт/цикл; автоматический или ручной режим работы. Привносимая дефектность на пластине не более 0,005 см-2 для частиц с размером не более 0,1 мкм. |
Производитель: ОАО Научно-исследовательский институт «Изотерм» | ||
Адрес | 241031 г. Брянск, б-р Щорса, д. 1 | |
Телефон | (4832) 62-77-97, 71-28-47 | |
Факс | //(4832) 62-77-97, 71-28-47 | //|
root@izoterm.bryansk.ru | ||
Интернет-адрес | http://www.nii-izoterm.ru |
Другая продукция этого предприятия | |
Электропечь сопротивления вакуумная шахтная «Ангар» (ДШАК 681323.001) 2004 год | |
Электропечь сопротивления конвейерная газонаполненная с разделенными газовыми зонами ПВДН.П-11,5-015 («АГАТ-2») 2000 год |