Манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин
| Продукция производственно-технического назначения 2001 год | ||
| Манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин |  | |
 | Манипулятор-перекладчик полупроводниковых пластин обеспечивает: перекладку полупроводниковых пластин диаметром 150 мм; ориентацию пластин в транспортных кассетах по базовому срезу; количество перекладываемых пластин - 50 шт/цикл; автоматический или ручной режим работы. Привносимая дефектность на пластине не более 0,005 см-2 для частиц с размером не более 0,1 мкм. | |
 | Производитель: ОАО Научно-исследовательский институт «Изотерм» | |
| Адрес | 241031 г. Брянск, б-р Щорса, д. 1 | |
| Телефон | (4832) 62-77-97, 71-28-47 | |
| Факс | //(4832) 62-77-97, 71-28-47 | //|
| root@izoterm.bryansk.ru | ||
| Интернет-адрес | http://www.nii-izoterm.ru | |
| Другая продукция этого предприятия | |
 |
Электропечь сопротивления вакуумная шахтная «Ангар» (ДШАК 681323.001) 2004 год |
 |
Электропечь сопротивления конвейерная газонаполненная с разделенными газовыми зонами ПВДН.П-11,5-015 («АГАТ-2») 2000 год |